旋片式真空泵因泵浦内安置旋片而得名，是一种气体输送型真空泵浦。利用泵浦内可变容积而获得真空。主要有单级和双极两种旋片式真空泵。

    双级旋片真空泵主要组成构件：缸体，转子，旋片，端盖、油箱、弹簧

    双级旋片真空泵工作原理

    旋片泵的旋片把转子、泵腔和两个端盖所围成的月牙形空间分隔成A、B、C三部分，当转子按箭头方向旋转时，与吸气口相通的空间A 的容积是逐渐增大的，正处于吸气过程。而与排气口相通的空间C的容积是逐渐缩小的，正处于排气过程。居中的空间B的容积也是逐渐减小的，正处于压缩过程。由于空间A的容积是逐渐增大（即膨胀），气体压强降低，泵的入口处外部气体压强大于空间A内的压强，因此将气体吸入。当空间A与吸气口隔绝时，即转至空间B的位置，气体开始被压缩，容积逐渐缩小，zui后与排气口相通。当被压缩气体超过排气压强时，排气阀被压缩气体推开，气体穿过油箱内的油层排至大气中。由泵的连续运转，达到连续抽气的目的。如果排出的气体通过气道而转入另一级（低真空级），由低真空级抽走，再经低真空级压缩后排至大气中，即组成了双级泵。这时总的压缩比由两级来负担，因而提高了极限真空度。

    双级旋片真空泵特点：

    1.结构简单紧凑，易以维护和保养。

    2. 采用风冷散热，无需冷却水。.

    3.电机与泵体采用直连方式，解决了传统皮带及齿轮松弛损耗问题，同时噪音更低。

    4.内置能排气过滤器，所抽气体可以直接排放，无污染。

    5. 进气口有逆止阀,当泵浦停止时,此逆止阀可隔离泵浦于系统,避免真空油逆流.

    6. 低震动,不需用基础螺拴固定泵浦。

    7. 运转声音小。

    8. 具气体压载阀,可适用於蒸气之制程。

    9.即在真空度0.5mbar到40mbar之间进入泵浦入口之水蒸气,会从泵浦出气口*排出,而不会在泵浦内发生凝结现象。